Innovationskatalog

Plasmagestützte Großflächen- und Präzisionsbeschichtung mit hoher Beschichtungsrate – InnoKatalog #21

Von |2021-06-02T14:28:30+02:0020/05/2021|Innovationskatalog|

Zusammenfassung Das Fraunhofer-Institut FEP entwickelt plasmagestützten Beschichtungsverfahren für die industrielle Produktion und die Beschichtung großer Flächen. Die Kernkompetenz umfasst die PVD-Verfahren plasmaaktivierte Hochratebedampfung und Puls-Magnetron-Sputtern sowie PECVD-Verfahren zur plasmaaktivierten chemischen Dampfphasenabscheidung mit verschiedenen leistungsfähigen Plasmaquellen. Vorteile und Stärken der Innovation Eine wesentliche Alleinstellung dieser Innovation ist die Kombination von äußerst dichten Plasmen mit sehr hohen Beschichtungsraten für die wirtschaftliche Abscheidung von qualitativ hochwertigen Schichten. Die Verbindung von Wirtschaftlichkeit mit Präzision

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